石墨烯生长炉（PECVD）产品说明：

　　石墨烯生长炉由BLMT-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成，可以是单温区、双温区、三温区等，在真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

　　管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

　　软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

　　一：基本参数：

　　1:加热炉部分

　　2:炉膛模式开启式炉膛

　　3:显示模式触摸屏

　　4:温度1400℃

　　5:工作温度≤1350℃

　　6:升温速率建议10℃/Min Max：30℃/Min

　　7:预热温〒区长度150mm

　　8:主温区长度300mm

　　9:预热温区移动手动移动

　　10:主温区移∏动自动移动，速度可以设定

　　二：设备特点：

　　1:设备规格2000*85*1400mm（长*宽*高）

　　2:炉管长度2000mm

　　3:控温精度±1℃

　　4:密封方式快↙速法兰密封

　　5:温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设

　　6:预存曲线可预存15条温度曲线

　　7:超温报警有

　　8:过流保护有

　　9:断偶提示◣有

　　10:测温元件s型热电偶

　　11:炉膛材料氧化铝纤维

　　12：射频电源功率

　　13：信号频率13.56 MHz±0.005%

　　14：功率输出范围5W-500W

　　15：功率稳定度±0.1%

　　16：谐波分量≤-50dbc

　　17：供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ

　　18：整机效率>=70%

　　19：功率因素>=90%

　　20：冷却方式强制风冷

　　真空部分

　　1：工作电电压220V±10%50~60HZ

　　2：功率500瓦

　　3：抽气速率4L\s

　　4：进气口口径KF25

　　5：排气口口径◇KF25

　　6：转速1450rpm

　　7：噪音55dB

　　9：真空4X10-2Pa

　　气路系统

　　1,2,3,4气路采用DB07系列

　　准确度：±1.5%

　　重复精度：±0.2%

　　响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

　　工作压差范围↑：0.1～0.5 MPa

　　整机系统特色

　　正压测量-100Kpa---100Kpa

　　真空测量-100Kpa

　　超压保护超压保护⌒值可以设定

　　压力恒定恒定压力值可以设定

　　智能气路气路系统可以编程

　　气路定时通气时间可以设定

　　射频工作时间设定辉光放电时间可以设定，自动关机

　　移动速度★调节移动速度可以设定

　　系统真空度5Pa